半導體制造工藝對潔凈度的要求近乎苛刻，任何微小的顆粒殘留都可能造成芯片良率的大幅下降。在眾多關鍵制程設備中，氟材料閥門作為控制高純度腐蝕性氣體的核心部件，其清洗工藝直接關系到生產線的穩(wěn)定運行。
傳統(tǒng)清洗方式往往采用機械刷洗或化學浸泡，但這些方法難以徹底清除閥門內部微米級殘留物，且可能損傷氟材料表面的惰性涂層。針對這一行業(yè)痛點，我們研發(fā)的第三代超聲波空化清洗系統(tǒng)，通過高頻振動在清洗液中產生數百萬個微型氣泡，氣泡破裂時釋放的沖擊波能滲透到閥門各個死角，將附著在流道內的氟化物顆粒剝離。
這套設備的創(chuàng)新之處在于采用了自適應頻率調節(jié)技術，可根據閥門結構自動匹配清洗波段，避免共振對精密部件的損傷。配套的多級過濾循環(huán)系統(tǒng)能實時凈化清洗液，確保每次作業(yè)都達到ISO 14644-1 Class 3的潔凈標準。更值得一提的是，設備搭載的AI視覺檢測模塊，能在清洗完成后自動掃描閥門內壁，通過算法比對歷史數據，智能判斷是否需要進行二次處理。
目前該設備已在三家頭部晶圓廠完成驗證測試，數據顯示其清洗效率較傳統(tǒng)方法提升40%，閥門使用壽命延長30%。隨著半導體工藝向3nm以下節(jié)點邁進，這項技術有望成為高端閥門維護的新標桿。未來我們將進一步集成數字孿生技術，實現閥門清洗全流程的虛擬仿真與實時優(yōu)化。
