KASHIYAMA樫山真空泵SDL12E50/SDL20E50/SDL36E60/SDL3600
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適用于大尺寸晶圓和FPD
通過組合提供大容量。也可按需提供大于
150kL/分鐘的容量。
更短的循環(huán)時(shí)間
在大氣壓下具有大容量,可以實(shí)現(xiàn)高速泵送,在大型L/L腔室中效果