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砂封槽-Cr18Mn12N鍵-滑塊-墊塊

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Cr18Mn12N兩個電極構(gòu)件0a、0b可以具有相同的結(jié)構(gòu)和組成。備選地，兩個電極構(gòu)件0a、0b的結(jié)構(gòu)和組成可以彼此不同。外部設(shè)備可以使用rf中存儲的標(biāo)簽標(biāo)識數(shù)據(jù)來確定與兩個電極構(gòu)件0a和0b中的每一個相關(guān)的詳細(xì)信息。鍛造法蘭在像這樣對處理晶圓w的內(nèi)部照射激光l來形成周緣改性層m的期間，通過傳感器鍛造法蘭來測定處理晶圓w的背面wb的高度，并且通過控制裝置90來計(jì)算激光l的照射位置。而且，進(jìn)行控制，以使計(jì)算出的激光l的照射位置與通過步驟b8設(shè)定的原點(diǎn)位置一致。

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