深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司日本愛(ài)發(fā)科真空鍍膜機(jī)坩堝，鍍鍋，坩堝蓋板
型 式：1300DBI
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品名：
GENER-1300DBI
型 式：
1300DBI
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品參數(shù)：
真空室SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架Ф1200mm
工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS400A（可選）
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀波長(zhǎng)范圍：400nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源GL離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵
1個(gè)擴(kuò)散泵
Polycold
性能
達(dá)到壓力5.0×10-5Pa以下
排氣時(shí)間15分
（大氣壓～1.3×10-3Pa）
基板溫度高：350℃
工作條件
設(shè)備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源3相,200v,50/60Hz,約101KVA
水流量140升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約9000kg
產(chǎn)品名：GENER-1300DBI
