SnO2電阻型氣敏器件通常采用燒結(jié)工藝。以多孔SnO2為基底材料,再添加不同其他物質(zhì),用制陶工藝燒結(jié)而成,燒結(jié)時埋入加熱和測量電極。此外,也蒸發(fā)和濺射等工藝制成薄膜器件和多層膜器件,這類器件靈敏度高,動態(tài)特性。
1、靈敏度
固定PO21實際上是極形成電位固定電極,即參比電極,有氣體參比電極和共存相參比電極兩種。氣體參比電極是空氣或其他混合氣體,如:H2一H2O,CO一CO2也能形成固定PO21。共存相參比電極是指金屬金屬氧物、金屬氧物高價金屬氧物混合粉末固相,這些混合物與氧氣氣相混合發(fā)生氧反應(yīng)能形成同定氧壓,因此也能作為參比電極。
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