SnO2薄膜氣敏元件具有良好的穩(wěn)定性、能在低溫下工作、檢測氣體種類多、工藝成熟等優(yōu)點，是目前的主流產(chǎn)品。 另外，F(xiàn)e2O3也是目前廣泛應(yīng)用研究的材料。 除傳統(tǒng)的SnO、SnO2和Fe2O3三種材料外，目前還在研究開發(fā)包括單一金屬氧物材料、復(fù)合金屬氧物材料、混合金屬氧物材料在內(nèi)的新材料。這些新型材料的研究和開發(fā)，大大提高了氣體傳感器的特性和應(yīng)用范圍。
非電阻型也是比較常見的半導體氣敏設(shè)備，這種設(shè)備易于使用，無需設(shè)置工作溫度，易于集成，得到廣泛應(yīng)用。 主要有結(jié)型和MOSFET型兩種。 結(jié)型氣體傳感器裝置也稱為氣體傳感器二極管，這種氣體傳感器裝置利用氣體改變二極管的整流特性而工作。 其結(jié)構(gòu)如下圖左圖所示。 Pd對氫有選擇性，與半導體接觸成接觸勢壘。當二極管加正向偏壓時，從半導體流向金屬的電子將增加，因此正向是導通的。
固體電解質(zhì)是一種具有與電解液水溶液相同離子電導率的固體物質(zhì)，作為氣體傳感器，它不需要通過電解液中的氣膜溶解氣體，以避免溶液蒸發(fā)和電極消耗等問題，因其具有較高的電導率、靈敏度和選擇性，被廣泛應(yīng)用于石油工、環(huán)境保護、采礦、食品等領(lǐng)域。體氣體傳感器。
