天津瑞利光電科技有限公司優(yōu)勢經銷德國ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S
產品型號：ATLEX-S
關鍵字：ATL Lasertechnik紫外線光源ATLEX-S
關鍵字描述：ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。
產品介紹：
超緊湊的尺寸
軟電暈預電離
高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器
激光頭體積<3l
TMC（全金屬陶瓷）容器
集成真空泵和鹵素過濾器
完全風冷，主動熱管理
RS-485，RS232，USB和光纖接口，用于系統(tǒng)集成
可沖洗光學支架
能量穩(wěn)定模式
ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源，專為中低占空比S應用而設計。
參數：
氣體介質 ArF KrF
波長 nm 193 248
高壓開關技術 固態(tài)開關 固態(tài)開關
重復率max. Hz 300 500 300 500
脈沖能量max. mJ 10 10 15 15
平均功率max. W 2.4 4 4 6
脈沖持續(xù)時間 ns 5-8
光束尺寸（V x H） mm 4 x 6
光束發(fā)散角（V x H）mrad 1 x 2
能量穩(wěn)定性（標準偏差）% < 3
尺寸（長x寬x高）mm 630 x 400 x 300
重量 kg 65
冷卻 空氣
電源要求 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
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