多種過程氣體實(shí)時(shí)配氣
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工藝簡(jiǎn)介：多種過程氣體在定量的情況下混合配比生成催化劑。
面臨問題： 生成催化劑的過程氣體的百分比是確定的，這就要求氣體流量控制器對(duì)各支路過程氣體精確的控制，其中一路或多路過程氣體的流量控制不穩(wěn)定將導(dǎo)致生成的催化劑質(zhì)量大幅下降，影響其生產(chǎn)效率及成品合格率。所以采用高精度，高穩(wěn)定性的氣體流量控制器在該工藝中起主導(dǎo)作用。
解決方案：采用Sierra C100L (Smart-TrakTM）數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器（±1.0%滿量程），安裝于支路對(duì)多種過程氣體進(jìn)行精確控制，其高精度、高穩(wěn)定性滿足了現(xiàn)場(chǎng)的要求，并且多種過程氣體實(shí)時(shí)配比生成的催化劑質(zhì)量及成品效率均有所提高。儀表的高可靠性得到了他們的認(rèn)可。
工況參數(shù)：多種過程氣體控制；溫度21℃；流量：0～10 slpm；1/4英寸卡套接口；
使用時(shí)間：2009年
儀表參數(shù)：
? 精度：±1%滿量程及線性度(高精度: ±0.7%讀數(shù)加上±0.3%的滿量程)
? 高精度及高可靠性的氣體質(zhì)量流量計(jì)
? 流量范圍：0~1000slpm
? Dial-A-Gas技術(shù)提供客戶10種氣體切換
? 氣體：所有清潔氣體，包括腐蝕性氣體和有毒氣體
? 標(biāo)定證書(NIST溯源)
? CE認(rèn)證