配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器以典型的電容式微機械陀螺和電容式微型壓力傳感器為例進行對比說明.對于微陀螺，配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
基于集總配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器參數(shù)模型的系統(tǒng)級設(shè)計既可以快速得到一般設(shè)計所需的模態(tài)、拉人電壓等設(shè)計指標，配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
還可以與配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器接口電路一起構(gòu)成閉環(huán)系統(tǒng)進行系統(tǒng)行為仿真，因此，其設(shè)計流程可以是系統(tǒng)級一工配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
藝級的自頂向配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器下設(shè)計流程，并非一定要進行基于有限元的器件級設(shè)計。但對于微壓力傳感器配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
而言，僅僅配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器依靠基于集總參數(shù)模型的系統(tǒng)級設(shè)計就很難完成壓力分布的計算，此時就離不開基配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
于有限元的器件級設(shè)計配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器。從器件級設(shè)計人手更為有效，因此其設(shè)計流程可以為器件級~系統(tǒng)
級一工藝級.可配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器見，MEMS CAD的設(shè)計流程應(yīng)該提供足夠的靈活性來滿足MEMS器件多樣
化帶來的個性化設(shè)計需求，這樣相比于單一的設(shè)計流程反而能提高MEMS的設(shè)計效率.事實
上，商業(yè)化MEMS CAD工具已經(jīng)意識到這個問題。如CoventorWare已在每個設(shè)計模塊上都
提供了設(shè)計人口，并開發(fā)了一些不同設(shè)計層級之間數(shù)據(jù)自動傳遞的接口，以方便用戶能從任一
模塊開始并完成設(shè)計[[1.20-21]0配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器其次，對于MEMS創(chuàng)新設(shè)計的支持力度不足也是現(xiàn)有集成設(shè)計工具所面臨的挑戰(zhàn)之一。
在結(jié)構(gòu)化設(shè)計方法中，MEMS的方案設(shè)計基本上均依賴于組件模型庫.例如，Carnegie Met-
ton大學(xué)的G. K. Fedder等在20世紀90年代末建立了節(jié)點分析法NODAS，主要思想是將
MEMS系統(tǒng)級建模轉(zhuǎn)化為配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器組件模型的網(wǎng)絡(luò)集合形式。CoventorWare擁有機電類、流體類、光
學(xué)類等大量的組件模型，并配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器且組件庫仍然在不斷擴充之中.可以說.可重用的組件庫技術(shù)大大
降低了用戶的設(shè)計難度，提配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器高了建模效率。但是，組件基本上都是來源于已有設(shè)計方案，用戶
基于這些組件模型配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器只能進行局部參數(shù)修改或組合式變換，無法進行新結(jié)構(gòu)或新部件設(shè)計。如
用戶在設(shè)計和配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器驗證新型方案時會用到的變截面彈性梁，就很難在現(xiàn)有軟件的常規(guī)組件模型中配正泰DZ47-60的過欠壓脫扣器
.得到支持。因此，加.強對創(chuàng)新設(shè)計能力的支持是MEMS設(shè)計方法的一個必然趨勢.
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