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過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用 工欲善其事，必先利其器。當(dāng)代的科技發(fā)展史告訴我們，專用的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)工具
(CAD》對(duì)于一個(gè)行業(yè)的發(fā)展往往起到了巨大的倍增器效應(yīng)，微電子設(shè)計(jì)工具(EDA)對(duì)微電子
過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用行業(yè)發(fā)展的推動(dòng)作用即是一個(gè)典型的案例。EDA工具的出現(xiàn)直接導(dǎo)致了微電子行業(yè)設(shè)計(jì)與過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
加工分離的產(chǎn)業(yè)特征，大大促進(jìn)了微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和壯大。當(dāng)前，僅EDA行業(yè)每年的市場(chǎng)
過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用總額都在40億美元以上。
過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用對(duì)于符合MEMS產(chǎn)業(yè)特點(diǎn)設(shè)計(jì)工具(MEMSCAD)的追求是MEMS業(yè)界一個(gè)長(zhǎng)期的奮
過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用斗目標(biāo).當(dāng)前，全世界已有幾十種MEMS設(shè)計(jì)工具[3-19]。一般可將這些設(shè)計(jì)工具分成兩大
類過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用。第一類是集成化設(shè)計(jì)工具，為MEMS用戶提供了從系統(tǒng)行為建模與仿真到器件物理分
析，再到版圖設(shè)計(jì)和工藝建模仿真等全過(guò)程的設(shè)計(jì)解決方案，典型的有CoventorWare[33 , In-
blisuite[']和法國(guó)的MEMS Pro"'，中過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用國(guó)的MEMS Garden[d]等。第二類是MEMS特定功能過(guò)欠壓脫扣器與小型斷路器配合使用
模塊的設(shè)計(jì)工具，其針對(duì)MEMS設(shè)計(jì)過(guò)程中某一階段的設(shè)計(jì)需求而開(kāi)發(fā)，并不提供整套解決
方案。典型的設(shè)計(jì)工具包括
MEMS系統(tǒng)級(jí)建模與仿真軟件Nodast'], Sugar[e]等;多物理場(chǎng)藕
合建模與仿真軟件Comosol[9]
, Ansys Multiphysics[10]等，工藝版圖編輯軟件L-Editt"], LA-
SI[IY〕等;宏建模軟件AutoMM[z3], ROM[i'], Mor4Ansys[15〕等;工藝模擬軟件
ACES["], Simo-
de("] ,SEGSt18]等.這些分散的軟件模塊已經(jīng)有很多集成在第一類集成設(shè)計(jì)工具里。
在這兩類設(shè)計(jì)工具里，集成設(shè)計(jì)工具提供了完備的MEMS建模與仿真解決方案，符合
