斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣 微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)主要是指通過半導(dǎo)體工藝或其
他微細(xì)加工工藝制造的微型機(jī)械。其英文縮寫MEMS恰到好處地反映了其主要技術(shù)特點(diǎn)。
MEM斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣S一詞中的第一個(gè)字母“M",即Micro,代表這一技術(shù)是微型的。MEMS中典型結(jié)構(gòu)的
特征尺寸在微米量級(jí),隨著斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣尺寸的縮小,顯然會(huì)降低MEMS系統(tǒng)的功耗,增大其諧振頻率,進(jìn)
而提高可靠性等。因此,可以說微型化是MEMS技術(shù)的一個(gè)最顯著的特征。如此微小的結(jié)構(gòu)
當(dāng)前仍主要通斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣過硅基半導(dǎo)體工藝來進(jìn)行實(shí)現(xiàn),這也使得MEMS一般都具有批量化生產(chǎn)的優(yōu)
點(diǎn)。而目前快速發(fā)展的非硅工藝,如準(zhǔn)分子激光、飛秒激光、電火花加工等手段也可以實(shí)現(xiàn)
MEMS技術(shù)的斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣微型化,并開始在MEMS領(lǐng)域中占據(jù)越來越重要的地位。MEMS中第二個(gè)字
母“E",即Electro,表明微機(jī)電系統(tǒng)是與“電”密不可分的。一方面,MEMS主要是以微型的傳
感器斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣或執(zhí)行器斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣為主,那么對(duì)微弱電信號(hào)的拾取與調(diào)理必然是不可缺少的。另一方面,這個(gè)“E"
也在某一程度上代表了這項(xiàng)技術(shù)是緣于微電子行業(yè)的。第三個(gè)字母“M”代表了結(jié)構(gòu)、力學(xué)等
與機(jī)械相關(guān)的東西.最后一個(gè)字母“S”代表了MEMS是一個(gè)相對(duì)完整的系統(tǒng)或子系統(tǒng),具備
一定的功能,并且該系統(tǒng)還往往可以在硅片上進(jìn)行機(jī)械結(jié)構(gòu)與控制電路的單片集成.
像微電子技術(shù)一樣,MEMS技術(shù)也是一項(xiàng)使能性技術(shù)(Enabling Technology),加上
MEMS器件本身所具有的微型化、低功耗、高集成度等優(yōu)點(diǎn),其已經(jīng)在航空、航天、汽車、醫(yī)療
器械、消費(fèi)電子等諸多領(lǐng)域都找到了很好的結(jié)合點(diǎn).目前,全世界已經(jīng)有超過130種的
MEMS器斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣件[[1],其中打印機(jī)噴頭、微加速度計(jì)、微陀螺、微麥克風(fēng)和數(shù)字微鏡均已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了大
規(guī)模的批量生產(chǎn),銷售額每年超過80億美元(見圖1 -1)。根據(jù)Yole公司的市場(chǎng)預(yù)測(cè),僅基于
硅M斷路器過欠壓脫扣器,過壓,欠壓脫扣EMS技術(shù)的MEMS市場(chǎng)在2010年就將超過100億美元。
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