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產(chǎn)品簡介
愛發(fā)科ULVAC干法去膠機(jī)Ashing System
愛發(fā)科ULVAC干法去膠機(jī)Ashing System
產(chǎn)品價(jià)格：￥0
上架日期：2017-08-02 10:35:20
產(chǎn)地：日本
發(fā)貨地：上海
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：11
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詳細(xì)說明
    應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device 

    設(shè)備特點(diǎn)： 

    一體化設(shè)計(jì)，可對(duì)應(yīng)各種晶圓尺寸＆不同尺寸晶圓混合搬送 

    對(duì)應(yīng)工藝范圍廣：從下一代有機(jī)膜工藝到氧化膜/SiN的刻蝕 

    利用微波電源，低溫工藝，實(shí)現(xiàn)無損傷工藝 

    維護(hù)保養(yǎng)周期長：6個(gè)月（實(shí)際值） 

    易于維護(hù)和工藝腔清洗時(shí)間短（30分鐘）
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    企業(yè)信息
    上海瞻馳光電科技有限公司
    會(huì)員級(jí)別：
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    聯(lián)系人：王曉玉（小姐）
    聯(lián)系電話：021-58210030
    聯(lián)系手機(jī)：15300099033
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    郵編：201619
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    0571-87774297