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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
日本愛(ài)發(fā)科ULVAC干法刻蝕機(jī)Dry Etching
日本愛(ài)發(fā)科ULVAC干法刻蝕機(jī)Dry Etching
產(chǎn)品價(jià)格：￥0
上架日期：2017-08-02 10:23:53
產(chǎn)地：日本
發(fā)貨地：上海
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：11
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詳細(xì)說(shuō)明
    應(yīng)用領(lǐng)域：IC，MEMS，LED，IGBT，SiC　Power　Device，LTCC 

    設(shè)備特點(diǎn)： 

    1、能夠生成均一性非常好的低壓力、高密度plasma 

    -搭載ISM（有磁場(chǎng)ICP）Plasma源。ULVAC專(zhuān)利。 

    2、為了保證再現(xiàn)性、穩(wěn)定性使用了key技術(shù) 

    -STAR電極。ULVAC專(zhuān)利。 

    3、優(yōu)秀的基板溫度控制 

    -并用了He導(dǎo)入的ESC式、machine　zipper式基板固定。 

    4、簡(jiǎn)單且快速的維護(hù)-減輕了維護(hù)負(fù)荷的維護(hù)機(jī)構(gòu)。 

    5、生產(chǎn)性、處理性能向上-300mm托盤(pán)，7層Cassette裝備。
在線詢(xún)盤(pán)/留言
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    上海瞻馳光電科技有限公司
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