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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
OKAMOTO 岡本SiC碳化硅背面減薄專用設(shè)備
OKAMOTO 岡本SiC碳化硅背面減薄專用設(shè)備
產(chǎn)品價(jià)格：￥1
上架日期：2017-08-01 12:16:23
產(chǎn)地：日本
發(fā)貨地：上海
供應(yīng)數(shù)量：不限
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詳細(xì)說(shuō)明
    一、設(shè)備概要： 
    1. 該研磨機(jī)系統(tǒng)是全自動(dòng)向下進(jìn)給式研磨機(jī)。設(shè)備用于半導(dǎo)體材料諸如：硅、陶瓷、石       英等硬質(zhì)材料的高精度研磨。GNX200B 兼容加工4”、5”、6”、8”晶圓，不需要更換     夾具。 
    2. 機(jī)械手從片盒取片子傳送到對(duì)中工作區(qū)，上料手拾取晶圓傳送到工作臺(tái)，工作臺(tái)被固       定在步進(jìn)臺(tái)上旋轉(zhuǎn)120 度送到粗磨工作區(qū)。 
    3. 在完成粗磨以后，工作臺(tái)移動(dòng)到第二個(gè)研磨軸做精磨，在完成精磨后，工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)120 度到清潔站。 
    4. 在清潔站用去離子水和毛刷清洗晶圓，然后下料手取晶圓送到甩干臺(tái)，在甩干臺(tái)再次        用去離子水和壓縮氣體清洗。 
    5. 在甩干臺(tái)晶圓被清潔后，機(jī)械手將晶圓放到片盒里。 
    6. 在線自動(dòng)厚度測(cè)量，該裝置是防水的微電子測(cè)量/控制單元，用微加工器來(lái)控制測(cè)量          頭，在研磨期間和研磨前測(cè)量晶圓厚度，操作界面上顯示測(cè)量結(jié)果，在實(shí)際硅片厚度      條件下產(chǎn)生控制信號(hào)。 
    7. 操作方法：全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng)。 

    二、設(shè)備特點(diǎn)： 
    1. 研削加工技術(shù)：日本機(jī)械學(xué)會(huì)授予岡本標(biāo)準(zhǔn)傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎(jiǎng)。 
    2. 機(jī)械精度的調(diào)整方法：通過(guò)主軸進(jìn)行調(diào)整（獨(dú)有專利），因?yàn)榭蛇M(jìn)行原點(diǎn)定位，所以        精度調(diào)整相當(dāng)容易；可2 處調(diào)節(jié)。 
    3. 標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)方式：齒軸+定位銷進(jìn)行定位，長(zhǎng)年使用也不會(huì)發(fā)生位移。 
    4. 標(biāo)準(zhǔn)潤(rùn)滑方式：潤(rùn)滑油及防護(hù)罩，防止進(jìn)入異物造成磨損。 
    5. 設(shè)備剛性：高剛性，不會(huì)因老化造成精度變化，部件由岡本自產(chǎn)鑄金一體化生產(chǎn)。 

    三、設(shè)備指標(biāo)： 

    1. 適用晶圓尺寸厚度晶圓尺寸： 4”、5”、6”、8”     晶圓厚度： 1000μm 
    2. 研磨方法向下進(jìn)給式研磨在線測(cè)量厚度控制 
    3. 操作方法全自動(dòng)、半自動(dòng)、手動(dòng) 
    4. 操作面板主控制面板： 17 寸，顯示研削條件，操作輸入；顯示系統(tǒng)功能條件， 
        監(jiān)控空氣壓力，電流，水流量等分控制面板： 厚度控制顯示 
    5. 設(shè)備尺寸及重量尺寸： 1350 (W) x 2370 (D)* x 1845 (H) 
        重量： 3900 Kg
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