河南凈化工程公司電子廠凈化車間節(jié)能設(shè)計(jì)的納米時(shí)代
目前主要使用凈化車間潔凈技術(shù)的行業(yè)有電子產(chǎn)業(yè)，制藥行業(yè)，醫(yī)院手術(shù)室，食品罐裝行業(yè)，高端化妝品制造，生物實(shí)驗(yàn)室，精密醫(yī)療器械產(chǎn)品的生產(chǎn)制造，以及高端精密零部件的生產(chǎn)等等。在我國，電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。電子產(chǎn)品行業(yè)需求大且發(fā)展迅速，因此電子廠凈化車間的建設(shè)尤為必要。
根據(jù)電子廠凈化車間空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將凈化車間分為三種類型：循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU(風(fēng)機(jī)過濾單元)循環(huán)系統(tǒng)。種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的電子廠凈化車間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的電子廠凈化車間則存在運(yùn)行成本過高、占用空間過大等缺點(diǎn)。第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造電子廠凈化車間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且電子廠凈化車間風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計(jì)方案。
電子廠凈化車間FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個(gè)潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對(duì)于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。
潔凈系統(tǒng)設(shè)計(jì)突出節(jié)能理念，好的電子廠凈化車間設(shè)計(jì)不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本、降低人力投入，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。在3種潔凈系統(tǒng)中，FFU循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行成本，潔凈度安全性，因此集成電路潔凈廠房多采用FFU循環(huán)系統(tǒng)。而潔凈度要求越高，溫濕度控制精度越高則電子廠凈化車間投資和運(yùn)行成本越高，因此在大環(huán)境潔凈度或溫濕度要求相對(duì)較低的情況下，將一些關(guān)鍵的工藝設(shè)備布置在較高潔凈度或溫濕度控制區(qū)域內(nèi)(比如潔凈隧道和微環(huán)境)是集成電路制造潔凈廠房的設(shè)計(jì)趨勢(shì)。隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級(jí)，主流大廠已經(jīng)進(jìn)入了納米時(shí)代，集成電路制造凈化車間的設(shè)計(jì)建造和節(jié)能創(chuàng)新也需要不斷提升，為先進(jìn)產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。
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