ERT先進的表面輪廓測量與檢測
便攜式三維輪廓測量儀
儀器設(shè)備的基本技術(shù)參數(shù)
● ?型號:MS100
● ?XY軸行程：100mm x 100mm
● ?Z軸行程：100mm
● ?Z軸量程：4mm(可選配50nm-24mm）
● ?光斑直徑：8um(可根據(jù)光筆不同型號選擇，小可小于2um)
● ?XY軸分辨率：50nm
● ?XY軸平面度:<2um
● ?XY軸重復定位精度：0.5um
● ?Z軸線性度：0.01%F.S
● ?Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號光筆小為14nm)
● ?XY軸大掃描速度：20mm/s
● ?樣品可測大傾角：漫反射表面大87度
● ?適用范圍：任何材質(zhì)表面，尤其對玻璃、鏡面、高光表面均可進行穩(wěn)定測試
功能與應用
● 產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測量
● 多層透明體厚度測量
● ?2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析
● ?2D/3D粗糙度測量
● ?可配合產(chǎn)線定制非標自動化檢測方案等
光譜共焦位移傳感器原理簡介
? ? ?1. 一束白光穿過小孔S，照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長的單色光，每一個波長對應一個固定的距離值。
? ? ?2. 當對象出現(xiàn)在測量區(qū)域的時候，一個特定波長的單色光正好照射在其表面，并且反射進光學系統(tǒng)。
? ? ?3. 此反射光通過一個小孔S,,（只有完美聚焦在被測體表面的光才可以穿過這個小孔），由波長識別系統(tǒng)(光譜儀)識別其波長，從而得到其所代表的精確距離值。
? ? ? 4.由光源射出一束寬光譜的復色光（呈白色），通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長，換算獲得距離值.
