ERT光譜共焦測(cè)量技術(shù)
利用波長(zhǎng)信息測(cè)量距離 由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光（呈白色），通過(guò)色散鏡頭發(fā)生光譜色散，形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái)，只有滿足共焦條件的單色光，可以通過(guò)小孔被光譜儀感測(cè)到。通過(guò)計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng)，換算獲得距離值。
光譜共焦傳感器測(cè)量光斑更小 激光位移傳感器由于其采用三角測(cè)距原理并且光斑大，測(cè)量段差及間隙時(shí)，存在多面反射導(dǎo)致形狀輪廓失真、邊緣位置異常波動(dòng)、檢測(cè)精度下降等問(wèn)題。采用光譜共焦測(cè)量技術(shù)且測(cè)量光斑最小可至10μm，可以測(cè)量出清晰的外形輪廓，并且可以保證非常高的測(cè)量精度。共聚焦效應(yīng)最關(guān)鍵的就是將反射光聚焦到針孔上，然后光感應(yīng)器件接收透過(guò)針孔的光信號(hào)解析位移測(cè)量值，整個(gè)光學(xué)原理決定著測(cè)量光斑越小，系統(tǒng)分辨率和精度越高。某些光譜共焦傳感器因?yàn)槭展饽芰θ酰到y(tǒng)穩(wěn)定性差，只能刻意放大測(cè)量光斑尺寸，以至傳感器精度嚴(yán)重下降，但是從分辨率上不會(huì)明顯顯現(xiàn)，其實(shí)把傳感器的測(cè)量光斑做的超大就像把傳感器做成了“智障”。光譜共焦位移傳感器測(cè)量光斑基本在10-20um。傳感器的橫向分辨率是測(cè)量光斑的一半，測(cè)量光斑大小決定了傳感器的橫向分辨率，比如測(cè)量一個(gè)0.1mm寬的邊沿臺(tái)階，必須使用高端光譜共焦傳感器。
