ERT光譜共焦測量技術(shù)的優(yōu)勢
光譜共焦傳感器測量光斑更小， 激光位移傳感器由于其采用三角測距原理并且光斑大，測量段差及間隙時，存在多面反射導(dǎo)致形狀輪廓失真、邊緣位置異常波動、檢測精度下降等問題。采用光譜共焦測量技術(shù)且測量光斑最小可至10μm，可以測量出清晰的外形輪廓，并且可以保證非常高的測量精度。 共聚焦效應(yīng)最關(guān)鍵的就是將反射光聚焦到針孔上，然后光感應(yīng)器件接收透過針孔的光信號解析位移測量值，整個光學(xué)原理決定著測量光斑越小，系統(tǒng)分辨率和精度越高。某些光譜共焦傳感器因為收光能力弱，系統(tǒng)穩(wěn)定性差，只能刻意放大測量光斑尺寸，以至傳感器精度嚴重下降，但是從分辨率上不會明顯顯現(xiàn)，其實把傳感器的測量光斑做的超大就像把傳感器做成了“智障”。光譜共焦位移傳感器測量光斑基本在10-20um。傳感器的橫向分辨率是測量光斑的一半，測量光斑大小決定了傳感器的橫向分辨率，比如測量一個0.1mm寬的邊沿臺階，必須使用高端光譜共焦傳感器。
