ERT光譜共焦測(cè)量技術(shù)的優(yōu)勢(shì)
角度特性更大 角度特性是指可測(cè)量樣品的最大傾角。激光位移傳感器測(cè)量非平面時(shí)，因回光產(chǎn)生相差無法準(zhǔn)確測(cè)量?jī)A斜或曲面，采用光譜共焦測(cè)量技術(shù)可以保證即使被測(cè)物存在過大傾角或曲面，也可以進(jìn)行高精度的形狀測(cè)量。針對(duì)漫反射表面光譜共焦位移傳感器測(cè)頭可以達(dá)到±87°，針對(duì)鏡面反射光譜共焦位移傳感器各種測(cè)頭基本都可以達(dá)到±20°以上。角度特性差會(huì)導(dǎo)致眾多異形位置無法正常測(cè)量。測(cè)量非平面表面，尤其針對(duì)3D玻璃輪廓、點(diǎn)膠膠水高度及高光金屬表面段差時(shí)，必須使用高端光譜共焦傳感器。 3D玻璃輪廓測(cè)量
厚度測(cè)量模式
在測(cè)量玻璃、鏡片等透明樣品時(shí)，不同波長(zhǎng)的兩束光在樣片正反表面聚焦，在導(dǎo)入樣品折射系數(shù)參數(shù)之后，可計(jì)算出該樣品的厚度值。相比于游標(biāo)卡尺等傳統(tǒng)的接觸式測(cè)量工具，光譜共焦測(cè)量擁有所有非接觸式光學(xué)測(cè)量的優(yōu)勢(shì)，同時(shí)還具有單側(cè)測(cè)量即可獲取樣品厚度值的特性。
折射系數(shù)直接影響厚度測(cè)量的數(shù)據(jù)精度，因此在測(cè)量開始時(shí)應(yīng)先確認(rèn)樣品的折射率。折射率可參考同類材料的數(shù)值，但如需獲得更高精度的厚度測(cè)量結(jié)果，需借助折光儀測(cè)得樣品的折射率。
模式切換
光譜共焦的兩種測(cè)量模式可在軟件界面中自由切換，無需重新啟動(dòng)設(shè)備或系統(tǒng)。因此，無論是樣品表面尺寸測(cè)量，還是透明材質(zhì)厚度測(cè)量，亦或是同時(shí)獲取透明樣品的外觀尺寸和厚度信息，光譜共焦測(cè)量技術(shù)都能從容應(yīng)對(duì)。
