? ? ?光譜共焦傳感器是一種精度可達次微納米量級的非接觸式位移量測系統(tǒng), 可精準測量漫反射/鏡面反射及透明多層材質的位移,厚度,也適合深孔/盲孔工件等運用。?
光譜共焦傳感器優(yōu)勢及特點
1、穩(wěn)定量測各類材質,例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等。
2、適用于各種形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特征尺寸量測,例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等。
3、高溫高壓等嚴苛操作條件下亦能適應正常使用。
4、測頭結構輕巧,易整合于各行業(yè)之自動化測量應用。
5、結構輕巧且內部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響。
6、獨特多層材質量測算法,可量測透明/半透明多層材質間之厚度或間隙。
? ? ? 彩色共焦位移傳感器是一種精度可達次微米量級的非接觸式位移量測系統(tǒng),對於表面漫反射或鏡反之物體乃至透明材質皆可測量其位移或厚度,基於出光與回傳訊號路徑同軸之特性,彩色共焦位移傳感器亦適合於深孔/盲孔工件等量測應用
原理:
彩色共焦位移傳感器乃利用特制的彩色編碼鏡頭使可見光產生軸向色散輸出,并經由光譜解析器解析共焦回傳光波訊號,後透過波長與位移轉換曲線計算出工件位移量測值
特點:
1非接觸式光學共焦測量技術, 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測頭設計, 其結構輕巧且內部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
3采用白光(可見光)光源系統(tǒng), 相較激光光源而言安全防護要求低
4獨特多層材質量測演算法, 可量測透明/半透明多層材質間之厚度或間隙
優(yōu)勢:
1 穩(wěn)定量測各類材質, 例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等
2 適用於各種工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量測, 例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等
3 高溫高壓等嚴苛操作條件下亦能適應正常使用