光譜共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微米量級的非接觸式位移測量系統(tǒng),對于表面漫反射或鏡反射之物體乃至透明材質(zhì)皆可測量其位移或厚度,基于出光與回傳信號路徑同軸之特性,光譜共焦傳感器亦適合于 深孔/盲孔工件等量測應(yīng)用
原理:
光譜共焦傳感器乃利用特制彩色編碼鏡頭使可見光產(chǎn)生軸向色散輸出,并經(jīng)由光譜解析器解析共焦回傳光波信號,后透過波長與位移轉(zhuǎn)換曲線計(jì)算出工件位移測量值
特點(diǎn):
非接觸式光學(xué)共焦測量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會(huì)被遮擋之特性
光纖傳輸彩色編碼測頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
采用白光(可見光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
獨(dú)特多層材質(zhì)量測演算法, 可測量透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
光譜共焦技術(shù)測量原理
利用波長信息測量距離
由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光。每一個(gè)波長的焦點(diǎn)都對應(yīng)一個(gè)距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計(jì)算被感測到的焦點(diǎn)的波長,換算獲得距離值。
主要型號參數(shù)