ERT光譜共焦輪廓傳感器
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光譜共焦輪廓傳感器測量頭
光譜共焦輪廓傳感器運用創(chuàng)新性的多通道共焦測量技術,單次在樣品表面投射180個測量點,每個測量點對應單獨的測量通道,經(jīng)多次測量即可獲取樣品三維輪廓數(shù)據(jù)。
光譜共焦輪廓傳感器擁有超高的測量頻率,速率可達2000行/秒(每秒獲取高達36萬個測量點),是兼具高效與高精度特性的在線檢測解決方案。
測量原理
光譜共焦輪廓傳感器采用多通道共焦測量技術,LED光源發(fā)射出的光線經(jīng)180條光纖傳輸后組成180個測量點,每個測量點的反射光線經(jīng)控制器處理,從而得到樣品表面三維數(shù)據(jù)。
光譜共焦輪廓傳感器
光譜共焦輪廓傳感器由MPLS控制器、連接光纖和專用測量頭組成,MPLS控制器包含MPLS 180和MPLS-DM型號。技術優(yōu)勢如下:
· 創(chuàng)新性的多通道共焦測量技術
· 180通道線掃描模式
· 掃描速率2000次/秒,單次獲取36萬個測量點數(shù)據(jù)
· 超高分辨率與測量精度