彩色共焦位移傳感器是一種精度可達(dá)次微米量級(jí)的非接觸式位移量測(cè)系統(tǒng),對(duì)於表面漫反射或鏡反之物體乃至透明材質(zhì)皆可測(cè)量其位移或厚度,基於出光與回傳訊號(hào)路徑同軸之特性,彩色共焦位移傳感器亦適合於深孔/盲孔工件等量測(cè)應(yīng)用
原理:
彩色共焦位移傳感器乃利用特制的彩色編碼鏡頭使可見光產(chǎn)生軸向色散輸出,并經(jīng)由光譜解析器解析共焦回傳光波訊號(hào),後透過波長(zhǎng)與位移轉(zhuǎn)換曲線計(jì)算出工件位移量測(cè)值
特點(diǎn):
1非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性
2光纖傳輸彩色編碼測(cè)頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
3采用白光(可見光)光源系統(tǒng), 相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
4獨(dú)特多層材質(zhì)量測(cè)演算法, 可量測(cè)透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
優(yōu)勢(shì):
1 穩(wěn)定量測(cè)各類材質(zhì), 例如金屬/陶瓷/鏡面/玻璃等
2 適用於各種工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特徵尺寸量測(cè), 例如高度/段差/厚度/平面度/輪廓度等
3 高溫高壓等嚴(yán)苛操作條件下亦能適應(yīng)正常使用