ERT的白光同軸共焦光譜檢測(cè)技術(shù)讓我們進(jìn)入納米級(jí)的測(cè)量領(lǐng)域
產(chǎn)品的獨(dú)特性能
1. 產(chǎn)品原理:全新的光譜共焦原理,可測(cè)量距離和厚度;
2. 任何材質(zhì)和表面:包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量;
3. 超高精度測(cè)量:小線性度可達(dá)0.03μm,高分辨率為0.3 nm;
4. 從100μm-42 mm的可選量程;
5. 超高采樣頻率:2K-60KHz,用于生產(chǎn)線,替代人工并提高合格率;
6. 測(cè)量范圍極廣,幾乎無(wú)死角,解決激光三角法測(cè)量無(wú)法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測(cè)量誤差等問(wèn)題,大可測(cè)傾角87度;
7. 可進(jìn)行透明工件(LCD、LCM、手機(jī)攝像頭等)多層厚度的精確測(cè)量,小可測(cè)量厚度為400 nm;
8. 可用于實(shí)驗(yàn)室的2D輪廓測(cè)量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測(cè)量,到工業(yè)在線檢測(cè)、自動(dòng)化控制等。
光譜共焦位移傳感器 CDS-200 廣泛應(yīng)用于物體位移、振動(dòng)、形變、透明體厚度等各種高精度非接觸式測(cè)量。
光譜共焦位移傳感器 CCS-200 典型應(yīng)用:
精確定位 LAMOST光纖定位,平面的定位等
旋轉(zhuǎn)體跳動(dòng)測(cè)量 機(jī)床主軸跳動(dòng) 球面鏡旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)等
透明體厚度測(cè)量 玻璃厚度,透鏡厚度,膜厚,水膜厚度等
輪廓/3D形貌測(cè)量 透鏡輪廓掃描,磨損量測(cè)量,3D形貌掃描等
微位移振動(dòng)測(cè)量 壓電驅(qū)動(dòng)器微位移振動(dòng)測(cè)量,磁致伸縮位移,生物力學(xué)形變
在線檢測(cè)
高測(cè)量速度和開(kāi)放的接口,可以應(yīng)用于生產(chǎn)線相關(guān)的檢測(cè)或控制系統(tǒng)
色散原理具有超高的耐表面性,高光潔表面也可以穩(wěn)定檢測(cè)