ERT光譜共焦位移傳感器原理簡(jiǎn)介
1. 一束白光穿過小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光,每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。
2. 當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候,一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面,并且反射進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。
3. 此反射光通過一個(gè)小孔S,,(只有完美聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過這個(gè)小孔),由波長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng),從而得到其所代表的精確距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測(cè)到。通過計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值.
光譜共焦位移傳感器 CCS-200 廣泛應(yīng)用于物體位移、振動(dòng)、形變、透明體厚度等各種高精度非接觸式測(cè)量。
光譜共焦位移傳感器 CCS-200 典型應(yīng)用:
精確定位 LAMOST光纖定位,平面的定位等
旋轉(zhuǎn)體跳動(dòng)測(cè)量 機(jī)床主軸跳動(dòng) 球面鏡旋轉(zhuǎn)跳動(dòng)等
透明體厚度測(cè)量 玻璃厚度,透鏡厚度,膜厚,水膜厚度等
輪廓/3D形貌測(cè)量 透鏡輪廓掃描,磨損量測(cè)量,3D形貌掃描等
微位移振動(dòng)測(cè)量 壓電驅(qū)動(dòng)器微位移振動(dòng)測(cè)量,磁致伸縮位移,生物力學(xué)形變
在線檢測(cè)
高測(cè)量速度和開放的接口,可以應(yīng)用于生產(chǎn)線相關(guān)的檢測(cè)或控制系統(tǒng)
色散原理具有超高的耐表面性,高光潔表面也可以穩(wěn)定檢測(cè)