ERT光譜共焦傳感器測(cè)量技術(shù)
新技術(shù)，新可能
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù)，可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過(guò)特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色，得到距離信息，光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑，從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著，即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕，也逃不過(guò)光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中，使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式，如激光三角反射式測(cè)量，對(duì)于小孔往往無(wú)能為力，因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路，無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù)，有公司推出了微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑，可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
由于測(cè)量只使用白光，無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路，傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是，需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒，這會(huì)影響測(cè)量精度，甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法，探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。
ERT多通道色散共焦傳感器
多路復(fù)用傳感器特點(diǎn)：
有2路CCS PRIMA2或4路通道CCS PRIMA4光譜共焦傳感器供選擇; 高采樣頻率可達(dá)2000HZ；
多路復(fù)用通道：同時(shí)可以把所有傳感器連接到控制器上，但一次只能有一個(gè)在使用，通道切換時(shí)間<400ms;
雙通道傳感器
1、表中給出的數(shù)值是典型值，LHCLO，LHCL2，LHCL3，LHCL4有±3%的偏差；LHCL1，LHCL5，LHCL6有±6%的偏差；
2、大可測(cè)傾角是指針對(duì)鏡面反射表面時(shí)的極限角度值。漫反射表面的大可測(cè)傾角可達(dá)87;
3、在量程中間位置時(shí)的光斑尺寸，靠量程近端光斑更小，靠量程遠(yuǎn)端光斑更大，從中心分別到近端遠(yuǎn)端差異10%左右；
4、光度收集率是指由不同的測(cè)頭測(cè)量同一樣品收集的能量，是相對(duì)單位量，此表中的數(shù)值為典型值。測(cè)量高度反射的樣品時(shí)，選擇低光度收集率的型號(hào)，為了 避免飽和，測(cè)量擴(kuò)散或低反射的樣品時(shí)，選擇具有高光度收集率型號(hào)，以避免一個(gè)非常低的信號(hào)與噪聲比例；
5、軸向分辨率RMS是對(duì)靜止樣品測(cè)得的噪聲電平。在量程的中心，以?xún)?yōu)秀的速率進(jìn)行測(cè)量，內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測(cè)量，并對(duì)應(yīng)交付每個(gè)傳感器的校準(zhǔn)證書(shū)；
6、精度是由1nm精度的編碼器做比較校準(zhǔn)，由所述傳感器測(cè)量距離時(shí)，在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)的大誤差。使用以下設(shè)置：自動(dòng)適應(yīng)LED模式，優(yōu)的速度，傾角為0。，內(nèi)部平均=測(cè)量值/10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測(cè)量，并指定每個(gè)傳感器的校準(zhǔn)證書(shū)交付；
7、小可測(cè)量的Ra的精度取決于樣品的恃性，表中所給的值是典型的；
8、在優(yōu)秀的速度下，測(cè)量范圍的中心，測(cè)量的典型值，不加平均。折射率=1.5個(gè)樣本（測(cè)量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時(shí)）；
9、可測(cè)半徑為測(cè)頭直徑加工作距離。
