光譜共焦傳感器的廣泛工業(yè)應(yīng)用表現(xiàn)高超
與激光三角反射式位移傳感器相比，采用光譜共焦式位移傳感器測量曲面玻璃的優(yōu)勢：
1）由于光譜共焦傳感器采用分析光譜成分對應(yīng)距離變化的原理，相比激光三角反射式傳感器通過反射光斑在CCD上的位置換算距離變化的原理，光譜共焦傳感器測量結(jié)果更加穩(wěn)定，分辨率和線性度更好。實際的測量項目中，采用米銥光譜共焦位移傳感器后，整個測量機臺的重復(fù)性甚至可達亞微米級別。
2）對于曲面玻璃邊沿較大角度的位置，光譜共焦位移傳感器可以獲得更大可測量區(qū)域。
3）激光三角反射式傳感器更加適合測量漫反射被測物。而對于鏡面反射的曲面玻璃，同軸測量原理的光譜共焦位移傳感器更加適用。
4）光譜共焦位移傳感器的測量光斑更小，測量頻率更高，適合快速捕捉微小結(jié)構(gòu)的位置變化。
- 量程 (mm): 2.5 | 10
- 線性度最大0.75μm
- 分辨率最大0.024μm
- 距離檢測
- 微小測量光斑
- 真空適用探頭
ERT系列光譜共焦式位移傳感器是專門為高精度要求的測量任務(wù)而設(shè)計的。該系列擁有極高的敏感度，較大的安裝傾角和安裝距離，使它可用于多種應(yīng)用場合。除了反光與透明表面的距離測量以外，該傳感器還可以用于單向測量清潔薄膜，板材或多層結(jié)構(gòu)的厚度。
高精度緊湊型光譜共焦傳感器探頭系列，以其超高的測量精度和緊湊的幾何尺寸脫穎而出。該系列光譜共焦傳感器適用于測量反光面和透明物體，探頭也可以用于檢測透明薄膜，板材和涂層的厚度。源于其特別的軸向和徑向測量方式，IFS2406-2.5適合真空環(huán)境應(yīng)用以及其他多種應(yīng)用領(lǐng)域。
