控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱(chēng)為凈化工程。在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學(xué)科。凈化工程所特別設(shè)計(jì)的房間,不論外在空氣前提如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能。
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線型,空氣由籠蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi),并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高的環(huán)境使用,一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)水平層流式:水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出,由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng),塵埃隨風(fēng)向排出室外,一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)峻。長(zhǎng)處:構(gòu)造簡(jiǎn)樸,運(yùn)轉(zhuǎn)后短時(shí)間內(nèi)即可變成不亂。缺點(diǎn):建造用度比亂流式高,室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器籠蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作職員所產(chǎn)生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。長(zhǎng)處:治理輕易,運(yùn)轉(zhuǎn)開(kāi)始短時(shí)間內(nèi)即可達(dá)不亂狀態(tài),不易為功課狀態(tài)或功課職員所影響。缺點(diǎn):構(gòu)造用度較高,彈性運(yùn)用空間難題,天花板之吊架相稱(chēng)占空間,維修更換過(guò)濾器較麻煩。
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