在一定空間范圍內(nèi),將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內(nèi)的工程學科。凈化工程所特別設計的房間,不論外在空氣前提如何變化,室內(nèi)均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
亂流式空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,00000長處:構造簡樸、系統(tǒng)建造本錢低,潔凈室的擴充比較輕易,在某些特殊用途場所,可并用無塵車間,潔凈室等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)休止運轉(zhuǎn)再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相稱長一段時間。
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