傳統(tǒng)激光的問題存在以下:
傳統(tǒng)三角測距是利用感光元件(CCD/CMOS)上的光點位置變化來測量被測物的距離變化。雖然通過從感光波形計算出峰值或重心等特征量可減小誤差,但從原理上,材質(zhì)不同或?qū)ο笪飪A斜會導(dǎo)致感光波形出現(xiàn)位置偏差或波形混亂,從而產(chǎn)生測量誤差。
使用傳統(tǒng)三角測距法時,隨著高度不同,測量位置或光斑大小會發(fā)生改變。而共焦位移傳感器的同軸共焦原理可以保證即使被測物存在傾斜或翹曲,也可進(jìn)行高精度的測量,測量點不會改變。
被測物傾斜角度過大時,受發(fā)光的像差影像, 由于其同軸共焦原理,所以無像差干擾問題,即使有測量值,也有可能和真值有很大偏差。即使被測物有過大傾角也不會影像測量精度。
鏡面、透明、半透明體表面也可以有超強(qiáng)角度特性傳統(tǒng)三角測距法,測量鏡面體時,對傳感器的安裝角度有苛刻的要求。
在使用多頭測量玻璃或柔性樣品厚度的應(yīng)用中,安裝時必須對各個傳感器進(jìn)行高精度的角度調(diào)整。
使用共焦位移傳感器,無需嚴(yán)格的角度調(diào)整就可進(jìn)行高精度測量。即使被測物在運動過程中的跳動也不會對測量造成過大影響。
1.表中給出的數(shù)值是典型值,LHCLO,LHCL2,LHCL3,LHCL4有±3%的偏差;LHCL1,LHCL5,LHCL6有±6%的偏差;
2.最大可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的最大可測傾角可達(dá)87。:
3.在量程中間位置時的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程遠(yuǎn)端光斑更大,從中心分別到近端遠(yuǎn)端差異10%左右;
4.光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量,是相對單位量,此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時,選擇低光度收集率的型號,為了避免飽和,測量擴(kuò)散或低反射的樣品時,選擇具有高光度收集率型號,以避免一個非常低的信號與噪聲比例;
5.軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心,以最佳的速率進(jìn)行測量,內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量,并對應(yīng)交付每個傳感器的校準(zhǔn)證書;
6.精度是由1nm精度的編碼器做比較校準(zhǔn),由所述傳感器測量距離時,在整個測量范圍內(nèi)的最大誤差。使用以下設(shè)置:自動適應(yīng)LED模式,最優(yōu)的速度,傾角為0。,內(nèi)部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量,并指定每個傳感器的校準(zhǔn)證書交付;