ERT光譜共焦傳感器的實際應(yīng)用領(lǐng)域
一站式自動化測量
適用多種高精度測量場景
光譜共焦測量系統(tǒng)適用于3D粗糙度、尺寸測量和3D形貌測量等測量任務(wù)，廣泛應(yīng)用于以下微觀精密測量領(lǐng)域：
? 玻璃（浮法玻璃在線厚度檢測，3D測量）
? 微電子（粗糙度，3D測量，缺陷檢測）
? 機械（粗糙度，摩擦磨損，3D測量，腐蝕分析）
? 光學(xué)鏡片（粗糙度，3D測量）
●超小型光譜共焦位移傳感器，外觀直徑為4mm、6mm、8mm
●非常適合用于安裝空間有限的場合
●可用于對小孔內(nèi)徑進行測量
●小至6mm的外徑，但其可以非常方便地集成于在線設(shè)備上
目前制造業(yè)中測量零件尺寸和形位公差的儀器是傳統(tǒng)的量具，比如卡尺，千分尺，千分表，三坐標(biāo)測量儀等，這些儀器采樣點是一個宏觀的接觸點，在微觀上，是一個眾多高點接觸的平均點，是無法反映微觀的幾何形狀誤差。而測量粗糙度的儀器又不能測量宏觀的形位公差。
用光譜共焦技術(shù)、機器視覺技術(shù)、激光CCD等先進傳感器，配合自動化技術(shù)以及系統(tǒng)軟件，領(lǐng)略數(shù)控已經(jīng)開發(fā)出高清晰、非接觸式的精密測量設(shè)備，該設(shè)備既可以測量出宏觀的直線度、輪廓度等形位公差，也可以給出表面粗糙度值，也能給出宏觀和微觀兩種特征的綜合結(jié)論。這類測量設(shè)備是當(dāng)下研發(fā)精密機械的后發(fā)優(yōu)勢，更加利于管控零件的加工質(zhì)量，更加有利于精密機械的技術(shù)迭代。
