Impedans射頻異常打火檢測(cè)器Alfven 100
品牌：Impedans
型號(hào)：Alfven 100
精確的射頻等離子體異常打火檢測(cè)和全面的射頻脈沖監(jiān)控
公司介紹：
Impedans是一家愛(ài)爾蘭的射頻和等離子處理智能傳感器服務(wù)商，主要提供用于射頻和等離子過(guò)程監(jiān)控的智能傳感平臺(tái)。其服務(wù)涵蓋多個(gè)領(lǐng)域，包括半導(dǎo)體、真空鍍膜、醫(yī)療器械、硬盤和航空航天等。
Impedans的技術(shù)優(yōu)勢(shì)在于其先進(jìn)的測(cè)量方法和高精度的數(shù)據(jù)采集能力，這使得其在等離子體處理領(lǐng)域具有較高的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。通過(guò)提供高質(zhì)量的傳感器和測(cè)量設(shè)備，Impedans在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域中贏得了良好的聲譽(yù)。
產(chǎn)品介紹：
Alfven 100是一款先進(jìn)的、集射頻等離子異常打火檢測(cè)和射頻脈沖監(jiān)控為一體的診斷儀器，它能夠以1微秒的分辨率實(shí)時(shí)處理射頻信號(hào)。
該儀器被設(shè)計(jì)用來(lái)檢測(cè)和表征射頻等離子體異常打火現(xiàn)象，同時(shí)可監(jiān)測(cè)每一個(gè)射頻脈沖信號(hào)，以檢查是否每個(gè)脈沖信號(hào)都符合設(shè)定值。
等離子體異常打火和失效脈沖可能導(dǎo)致晶圓缺陷，因此，Alfven 100是快速故障排除和7×24小時(shí)監(jiān)控的必要工具。
主要功能：
1μs采樣分辨率，同時(shí)監(jiān)測(cè)異常打火和脈沖信號(hào)(可調(diào)噪聲過(guò)濾)。
可配置異常打火類型和失效脈沖信號(hào)類型。
監(jiān)控每個(gè)脈沖的有效時(shí)間、脈沖頻率和占空比。
報(bào)告用戶設(shè)置的偏離限制的具體值。
“開(kāi)關(guān)”和“高低”脈沖監(jiān)控（可多達(dá)三級(jí)）。
監(jiān)控脈沖期間可報(bào)告最大、最小和平均電壓電流值。
“快照”功能查看在給定時(shí)間內(nèi)的脈沖輪廓。
可設(shè)置配方，命令儀器自動(dòng)調(diào)整設(shè)置，以同步監(jiān)測(cè)復(fù)雜多步的等離子體過(guò)程。
主要優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用：
可快速確定是否由打火或失效脈沖導(dǎo)致的晶圓缺陷的原因。
脈沖“快照”功能可替代定向耦合器-示波器。
監(jiān)控每個(gè)工藝步驟配方的平均脈沖頻率和占空比。
實(shí)時(shí)監(jiān)控每個(gè)工藝步驟的異常打火次數(shù)。
按要求進(jìn)行微妙數(shù)據(jù)的實(shí)時(shí)報(bào)告。
軟件通訊中斷時(shí)儀器主板可暫時(shí)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)。
可生成摘要報(bào)告，方便后續(xù)查看。
