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????? ERT光譜共焦測(cè)量技術(shù)的獨(dú)特性能
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產(chǎn)品主要應(yīng)用領(lǐng)域:
? 粗糙度測(cè)量
得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性,本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178,可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,同軸共焦位移計(jì)以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。
? ?輪廓和3D形貌測(cè)量
集成于3D掃描系統(tǒng)上,本同軸共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和3D測(cè)量數(shù)據(jù)。
? 透明體厚度測(cè)量
創(chuàng)新的同軸共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度,整個(gè)過(guò)程僅需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器,本儀器因采用同軸光,從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度。
? 液位控制測(cè)量
優(yōu)異的非接觸式同軸測(cè)量,我們傳感器可以檢測(cè)和測(cè)量液體的水平高度
?? 在線檢測(cè)
高采樣頻率,小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口,使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。
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? ? ?1. 產(chǎn)品原理:全新的光譜共焦原理,可測(cè)量距離和厚度;
? ? ?2. 任何材質(zhì)和表面:包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量;
? ? ?3. 超高精度測(cè)量:最小線性度可達(dá)0.03μm,分辨率為0.3 nm;
? ? ?4. 從100μm-42 mm的可選量程;
? ? ?5. 超高采樣頻率:2K-60KHz,用于生產(chǎn)線,替代人工并提高合格率;
? ? ?6. 測(cè)量范圍極廣,幾乎無(wú)死角,解決激光三角法測(cè)量無(wú)法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測(cè)量誤差等問(wèn)題,可測(cè)傾角87度;
? ? ?7. 可進(jìn)行透明工件(LCD、LCM、手機(jī)攝像頭等)多層厚度的準(zhǔn)確測(cè)量,最小可測(cè)量厚度為400 nm;
? ? ?8. 可用于實(shí)驗(yàn)室的2D輪廓測(cè)量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測(cè)量,到工業(yè)在線檢測(cè)、自動(dòng)化控制等。
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