光譜共焦測量技術(shù)介紹
東莞藍(lán)海提供的ERT色散共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微米量級(jí)的非接觸式位移測量系統(tǒng)
1. 產(chǎn)品原理：全新的光譜共焦原理，可測量距離和厚度；
2. 任何材質(zhì)和表面：包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體、高光金屬等表面均可進(jìn)行納米級(jí)測量；
3. 超高精度測量：最小線性度可達(dá)0.03μm，分辨率為0.3 nm；
4. 從100μm-42 mm的可選量程；
5. 超高采樣頻率：2K-60KHz，用于生產(chǎn)線，替代人工并提高合格率；
6. 測量范圍極廣，幾乎無死角，解決激光三角法測量無法回避的因表面材質(zhì)變化或傾斜而導(dǎo)致測量誤差等問題，可測傾角87度；
7. 可進(jìn)行透明工件（LCD、LCM、手機(jī)攝像頭等）多層厚度的準(zhǔn)確測量，最小可測量厚度為400 nm；
8. 可用于實(shí)驗(yàn)室的2D輪廓測量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測量，到工業(yè)在線檢測、自動(dòng)化控制等。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
非接觸式光學(xué)共焦測量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性
光纖傳輸彩色編碼測頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
采用白光(可見光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
獨(dú)特多層材質(zhì)量測演算法, 可測量透明／半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
