光譜共焦測量技術介紹
ERT作為三維表面測量與測量業(yè)界的不斷探索者，提供從微觀到航空發(fā)動機內(nèi)腔各部件等不同大小樣品的非接觸式測量分析。歷經(jīng)數(shù)多年的努力，在原有獨特技術的基礎上，不斷積累創(chuàng)新，來保證面對各種應用環(huán)境時精確三維測量所需的高靈敏度和穩(wěn)定性；而這一挑戰(zhàn)往往是其他測量技術或測量系統(tǒng)難以克服的。ERT能夠提供工業(yè)上功能強大新型的圖形用戶界面。智能便捷的操作架構，直觀的可視化工作流和廣泛的用戶定義的自動化能力的結合，使得用戶能夠快速有效的收集和分析數(shù)據(jù)?？勺詣由捎脩粜枰牡慕Y果報告。這些新特性讓先進的表面測量報告與廣泛的行業(yè)標準相兼容。
ERT測量系統(tǒng)在業(yè)界一直以優(yōu)質(zhì)服務著稱，在性能穩(wěn)定性上一貫口碑良好。從研究型實驗室到生產(chǎn)型車間和半導體無塵間，數(shù)以幾千計的系統(tǒng)被廣泛使用。作為專門為先進質(zhì)量控制和研發(fā)設計的測量儀器，可用于精密加工制造類應用的測量，在手機、汽車、航空航天、太陽能、半導體和醫(yī)療器械領域，ERT總有一款適合您應用和與預算的光學測量系統(tǒng)。
ERT先進的表面測量與檢測
便攜式三維輪廓測量儀
儀器設備的基本技術參數(shù)
● 型號:MS100
● XY軸行程：100mm x 100mm
● Z軸行程：100mm
● Z軸量程：4mm(可選配50nm-24mm）
● 光斑直徑：8um(可根據(jù)光筆不同型號選擇，小可小于2um)
● XY軸分辨率：50nm
● XY軸平面度:<2um
● XY軸重復定位精度：0.5um
● Z軸線性度：0.01%F.S
● Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號光筆小為14nm)
● XY軸大掃描速度：20mm/s
● 樣品可測大傾角：漫反射表面大87度
● 適用范圍：任何材質(zhì)表面，尤其對玻璃、鏡面、高光表面均可進行穩(wěn)定測試
功能與應用
● 產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測量
● 多層透明體厚度測量
● 2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析
●
2D/3D粗糙度測量
● 可配合產(chǎn)線定制非標自動化檢測方案等
產(chǎn)品特點：
非接觸式光學共焦測量技術, 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
光纖傳輸彩色編碼測頭設計, 其結構輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
采用白光(可見光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護要求低
獨特多層材質(zhì)量測演算法, 可測量透明／半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
