ERT先進的表面測量與檢測
便攜式三維輪廓測量儀
儀器設(shè)備的基本技術(shù)參數(shù)
● 型號:MS100
● XY軸行程：100mm x 100mm
● Z軸行程：100mm
● Z軸量程：4mm(可選配50nm-24mm）
● 光斑直徑：8um(可根據(jù)光筆不同型號選擇，小可小于2um)
● XY軸分辨率：50nm
● XY軸平面度:<2um
● XY軸重復(fù)定位精度：0.5um
● Z軸線性度：0.01%F.S
● Z軸分辨率:0.13um(根據(jù)不同型號光筆小為14nm)
● XY軸大掃描速度：20mm/s
● 樣品可測大傾角：漫反射表面大87度
● 適用范圍：任何材質(zhì)表面，尤其對玻璃、鏡面、高光表面均可進行穩(wěn)定測試
功能與應(yīng)用
● 產(chǎn)品表面段差、高度、寬度、平面度測量
● 多層透明體厚度測量
● 2D輪廓/3D微觀形貌掃描分析
● 2D/3D粗糙度測量
● 可配合產(chǎn)線定制非標(biāo)自動化檢測方案等
產(chǎn)品特點：
非接觸式光學(xué)共焦測量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號不會被遮擋之特性
光纖傳輸彩色編碼測頭設(shè)計, 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
采用白光(可見光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護要求低
獨特多層材質(zhì)量測演算法, 可測量透明／半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
