東莞市藍(lán)海精密檢測(cè)設(shè)備科技有限公司
色散共焦傳感器是一種精度可達(dá)次微米量級(jí)的非接觸式位移測(cè)量系統(tǒng),對(duì)于表面漫反射或鏡反射之物體乃至透明材質(zhì)皆可測(cè)量其位移或厚度,基于出光與回傳信號(hào)路徑同軸之特性,光譜共焦傳感器亦適合于 深孔/盲孔工件等量測(cè)應(yīng)用
原理:
色散共焦傳感器乃利用特制彩色編碼鏡頭使可見(jiàn)光產(chǎn)生軸向色散輸出,并經(jīng)由光譜解析器解析共焦回傳光波信號(hào),后透過(guò)波長(zhǎng)與位移轉(zhuǎn)換曲線計(jì)算出工件位移測(cè)量值
特點(diǎn):
非接觸式光學(xué)共焦測(cè)量技術(shù), 具有超高分辨率及同光軸回傳訊號(hào)不會(huì)被遮擋之特性
光纖傳輸彩色編碼測(cè)頭設(shè)計(jì), 其結(jié)構(gòu)輕巧且內(nèi)部不含電子零件而不受環(huán)境干擾影響
采用白光(可見(jiàn)光)光源系統(tǒng),相較激光光源而言安全防護(hù)要求低
獨(dú)特多層材質(zhì)量測(cè)演算法, 可測(cè)量透明/半透明多層材質(zhì)間之厚度或間隙
新技術(shù),新可能
使用光譜共焦測(cè)量技術(shù),可以得到超高分辨率。納米級(jí)分辨率源于上述經(jīng)過(guò)特殊處理得到的加長(zhǎng)光譜范圍。由于采用檢測(cè)焦點(diǎn)的顏色,得到距離信息,光譜共焦傳感器可以采用非常小的測(cè)量光斑,從而允許測(cè)量非常小的被測(cè)物體。這也意味著,即使被測(cè)表面有非常輕微的劃痕,也逃不過(guò)光譜共焦傳感器的眼睛。
由于光譜共焦傳感器的光路非常緊湊和集中,使其非常適合測(cè)量鉆孔結(jié)構(gòu)。而其他測(cè)量方式,如激光三角反射式測(cè)量,對(duì)于小孔往往無(wú)能為力,因?yàn)樾】仔纬傻年幱皶?huì)遮擋反射光的光路,無(wú)法進(jìn)行測(cè)量。針對(duì)這種小孔測(cè)量任務(wù),德國(guó)米銥推出了IFS 2402微型光譜共焦傳感器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可以探入小孔內(nèi)部進(jìn)行測(cè)量。
另一種非常適合光譜共焦傳感器的應(yīng)用是測(cè)量多層透明材料的厚度。與其他測(cè)量方法不同,光譜共焦傳感器在測(cè)量這種物體時(shí),僅需要一支探頭就可以完成測(cè)量。
測(cè)量被測(cè)物體前端面和后端面的反射光,從而得到層厚信息。由于測(cè)量只使用白光,無(wú)需額外附加激光安全措施。由于探頭本身不含有任何電路,傳感器探頭還可以被用于有防爆要求的環(huán)境或者有電磁干擾要求的環(huán)境。而控制器可以被放置于安全距離以外。允許長(zhǎng)50m的光纖連接探頭和控制器。但是,需要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會(huì)影響測(cè)量精度,甚至使測(cè)量變得不可完成。由于采用的是光學(xué)測(cè)量方法,探頭到被測(cè)物體的距離也有一定限制。