光譜共焦傳感器的功能介紹
光譜共焦位移傳感器原理簡介
1. 一束白光穿過小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長的單色光,每一個波長對應(yīng)一個固定的距離值。
2. 當對象出現(xiàn)在測量區(qū)域的時候,一個特定波長的單色光正好照射在其表面,并且反射進光學(xué)系統(tǒng)。
3. 此反射光通過一個小孔S,,(只有完美聚焦在被測體表面的光才可以穿過這個小孔),由波長識別系統(tǒng)(光譜儀)識別其波長,從而得到其所代表的精確距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長的單色光。每一個波長的焦點都對應(yīng)一個距離值。測量光射到物體表面被反射回來,只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測到。通過計算被感測到的焦點的波長,換算獲得距離值.
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
粗糙度測量
得益于納米級精度及超好的角度特性,本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178,可用于對表面粗糙度進行高精度測量。相對于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,同軸共焦位移計以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對產(chǎn)品表面無任何損傷。
輪廓和3D形貌測量
集成于3D掃描系統(tǒng)上,本同軸共焦位移傳感器可以提供針對負載表面形貌的2D和3D測量數(shù)據(jù)。
感器可以對震動物件進行測量,傳感器采用的非接觸設(shè)計,避免測量過程中對震動物件造成干擾,同時可以對復(fù)雜區(qū)域進行詳細的測量和分析。