光譜共焦傳感器的功能介紹
光譜共焦位移傳感器原理簡(jiǎn)介
1. 一束白光穿過小孔S,照射在色散鏡頭組L上。色散鏡頭組把白光分解成不同波長(zhǎng)的單色光,每一個(gè)波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)固定的距離值。
2. 當(dāng)對(duì)象出現(xiàn)在測(cè)量區(qū)域的時(shí)候,一個(gè)特定波長(zhǎng)的單色光正好照射在其表面,并且反射進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)。
3. 此反射光通過一個(gè)小孔S,,(只有完美聚焦在被測(cè)體表面的光才可以穿過這個(gè)小孔),由波長(zhǎng)識(shí)別系統(tǒng)(光譜儀)識(shí)別其波長(zhǎng),從而得到其所代表的精確距離值。
4.由光源射出一束寬光譜的復(fù)色光(呈白色),通過色散鏡頭發(fā)生光譜色散,形成不同波長(zhǎng)的單色光。每一個(gè)波長(zhǎng)的焦點(diǎn)都對(duì)應(yīng)一個(gè)距離值。測(cè)量光射到物體表面被反射回來(lái),只有滿足共焦條件的單色光,可以通過小孔被光譜儀感測(cè)到。通過計(jì)算被感測(cè)到的焦點(diǎn)的波長(zhǎng),換算獲得距離值.
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
粗糙度測(cè)量
得益于納米級(jí)精度及超好的角度特性,本同軸共焦位移傳感器契合ISO25178,可用于對(duì)表面粗糙度進(jìn)行高精度測(cè)量。相對(duì)于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,同軸共焦位移計(jì)以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對(duì)產(chǎn)品表面無(wú)任何損傷。
輪廓和3D形貌測(cè)量
集成于3D掃描系統(tǒng)上,本同軸共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和3D測(cè)量數(shù)據(jù)。
感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),避免測(cè)量過程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾,同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。