| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 米歇爾MICHELL | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 規(guī)格 | 1mm | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | URE-2000/25 | ||
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紫外高精密光刻機
1、曝光面積：110mm×110mm
2、分辨力：0.8μm（膠厚2mm的正膠）
3、對準精度 ±0.5μm
4、掩模樣片整體運動范圍：X：6mm; Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm (可適應非標準片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm (可擴展為15mm)
8、照明均勻性：±2.5（Ф100mm范圍）
9、掩模相對于樣片運動行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長：365nm
12、曝光能量密度：35mW/cm 可以根據需要增加或減弱調節(jié)
13、曝光方式：定時（到計時方式0.1s—999s）
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