.jpg "勻膠顯影機(jī)")
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 鑫有研 | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| LCD顯示更新 | LED | ||
| 安裝方式 | 指導(dǎo) | ||
| 包裝規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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凈化勻膠顯影機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的專用設(shè)備
設(shè)備中涂膠部分四個(gè)工位單片微型機(jī)控制四個(gè)工位同時(shí)工作或分別工作，即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單獨(dú)傳動(dòng)，轉(zhuǎn)數(shù)單獨(dú)調(diào)節(jié)及單獨(dú)顯示。
為保證在涂膠工藝中不飛片，設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個(gè)電磁閥，同時(shí)增加一個(gè)負(fù)壓儲(chǔ)氣罐，保證了吸片牢固和可靠性。
設(shè)備中配有專用的空氣凈化裝置。
主要技術(shù)指標(biāo)：
主要技術(shù)指標(biāo)
顯影工位： 一個(gè)操作工位
程序時(shí)間： 顯影1—99秒 漂洗1—99秒 干燥1—99秒
旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù)： 500—8000轉(zhuǎn)/分（連續(xù)可調(diào)）
硅片直徑： Φ30—Φ75mm
凈化效果：美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)100級凈化
