| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 光弛 | ||
| 功能 | 自動 | ||
| 重量 | 8500kg | ||
| 離子源 | 23cmRF | ||
| 達(dá)到壓力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排氣時間 | 20分（大氣壓～1.3×10-3?Pa) | ||
| 基板溫度 | 350℃ | ||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 電源 | 3相200V | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
| 型號 | otfc1800 | ||
日本光弛otfc1800鍍膜機(jī) 射頻離子蒸發(fā)電鍍機(jī) 雙光電子束真空電鍍膜機(jī)
機(jī)械特點(diǎn)：
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控
使用均勻分布的高離子電流密度的離子源
搭載雙電子槍，多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上
利用自動蒸鍍控制系統(tǒng)實現(xiàn)全自動蒸鍍過程
工件架可選擇鐘罩式或行星式
排氣系統(tǒng)可選擇擴(kuò)散泵 低溫冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵
設(shè)備尺寸：
設(shè)備型號 OTFC-1800CBI/DBI
真空室SUS304, φ1800mm×1920mm (H)
工件架φ1600mm
工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式或透射式
石英晶振膜厚計XTC/3 6點(diǎn)式石英晶體傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源23cmRF離子源
排氣系統(tǒng)機(jī)械泵 2個擴(kuò)散泵 Polycold（或2個冷凝泵）
機(jī)械性能：
達(dá)到壓力7.0×10-5 Pa以下
排氣時間20分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)
基板溫度：350℃
設(shè)備尺寸約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H)
工作條件：
電源3相, 200V, 50/60Hz,約150kVA
水流量180升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約11200kg
