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北京瑞億斯RTP-500型快速熱處理設(shè)備快速熱處理爐快速退火爐怎么使用說明購買

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RTP-500型快速熱處理設(shè)備生產(chǎn)廠家?快速熱處理爐哪里購買?快速退火爐

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1．用途

快速熱處理技術(shù)（RTP）近年來得到越來越的應(yīng)用，可用于硅及化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長時間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫，慢速升降溫的功能，因此也可用于鐵電膜的制備以及各種半導(dǎo)體材料CVD工藝的熱處理。

RTP-500?快速熱處理設(shè)備技術(shù)指標(biāo)
1.?溫度范圍:?150?-?1300?C
2.?升溫速率:?0.001-220C?/?s?可予設(shè)定
3.?樣品架尺寸:?4英寸?
4.?密封石英盒內(nèi)尺寸:?215?X?140X?14?mm
5.?PC?機控制.?CPU?主頻?2.1G?內(nèi)存128?M?,?硬盤40?G?,?軟驅(qū)1.44M?,?17?英寸顯示器,?WIN?2000?操作系統(tǒng).?配有AD/DA卡,?及RTP-500控制軟件.
6.?可編程溫度曲線存儲500?條以上,?每條曲線包括50段以上,?溫度設(shè)定范圍?100-1300?C?,?時間設(shè)定范圍1-30000?秒
7.?實時溫度曲線顯示及存儲功能?.?文件格式輸出
8.?雙閉環(huán)溫度控制,?穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性 /-?2?C?,1000C連續(xù)工作>1小時
9.光源:?1.5KW?X?13?鹵鎢燈?
10.電源:?380?V?35A?三相?五線(三火線,?零線,?地線)
11.水源:?自來水或循環(huán)水,?水壓?1-3?kg?/?平方厘米,?流量6-8升/分
12.?外形尺寸:?電源箱?440?X?200?X?520?mm?,?爐體箱?440X200X520?mm

2．主要技術(shù)參數(shù)數(shù)據(jù)

2.1 溫度范圍150℃-1300℃，建議使用溫度范圍150℃-1250℃

2.2 升溫速率0.001-220℃/秒，可預(yù)設(shè)定2-20

2.3 密封石英盒尺寸：210×140×14mm

2.4?PC機控制。CPU主頻1.1G，內(nèi)存128M，硬盤20G,軟驅(qū)1.44M，40倍速光驅(qū)，顯示器15寸彩顯

2.5?可編程溫度曲線存儲500條以上，每條曲線可包括50段以上，溫度設(shè)定范圍100℃-1300℃時間設(shè)定范圍1-30000秒

2.6?實時溫度曲線，顯示及存儲功能，存儲實驗曲線500條以上。

2.7?手動控制：時間設(shè)定范圍1-9999秒，溫度設(shè)定范圍100-1300℃

2.8?雙閉環(huán)溫度控制，穩(wěn)態(tài)溫度穩(wěn)定性±2℃

2.9?光源：1.25KW×13鹵鎢燈

2.10?電源：380V　32A　3相

2.11?外形尺寸：電源箱440×200×520mm

爐體箱440×200×520mm

PC機：標(biāo)準(zhǔn)尺寸

3．工作原理及結(jié)構(gòu)

3.1原理簡述

???在聚光腔內(nèi)的鹵鎢燈產(chǎn)生的光輻照，通過石英盒照射到樣品上。由于樣口是聚光腔內(nèi)的光吸收體，腔內(nèi)的光線大部分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫?zé)犭娕紲y出溫度信號，經(jīng)線性化和放大 ，通過A/D轉(zhuǎn)換送入PC機。PC機根據(jù)預(yù)定的溫度曲線，以及當(dāng)前溫度值，決定控制電壓的大小，經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換器送入接口電路。通過控制電路和固態(tài)控制器，控制燈電流大小，實現(xiàn)閉環(huán)控制。

3.2快速退火爐結(jié)構(gòu)

上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度穩(wěn)定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結(jié)構(gòu)，盒后部有一個氣嘴，可通往保護(hù)氣體。盒前部與墊板之間用704硅膠封結(jié)。以良好的密封性能。墊板側(cè)面有一個氣嘴，與排氣管相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈簧的頂釘壓緊。石英盒內(nèi)部的后部放有一石英擋條，使保護(hù)氣體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫?zé)犭娕?。熱電偶?jīng)過氧化處理，其表面吸收系數(shù)與硅片相近。前蓋裝有“O”型密封圈，其密封。前蓋裝在導(dǎo)柱上可以前后滑動。裝片時拉出來，退火時推進(jìn)去。石英盒上面裝有6支鹵鎢燈。下面裝有7支鹵鎢燈。每支燈上串有1歐姆電阻。其作用是減小啟動時的沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側(cè)裝有風(fēng)扇，給鹵鎢燈及石英盒強制風(fēng)冷。退火爐面板左側(cè)裝有N2流量計，可調(diào)節(jié)和監(jiān)視保護(hù)氣體的流量。面板右側(cè)有兩排發(fā)光二極管。用來監(jiān)視每支鹵鎢燈的電流。

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