| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 瑞億斯 | ||
| 產(chǎn)品特性 | 快速退火 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 北京 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 最大電壓 | 380V | ||
| 功率 | 2000W | ||
| 額定溫度 | 1200℃ | ||
| 主要用途 | 半導(dǎo)體芯片退火 | ||
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
| 型號(hào) | RTP-300 | ||
北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設(shè)備 快速退火爐 怎么操作說(shuō)明使用哪里購(gòu)買(mǎi)
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RTP-300快速熱處理設(shè)備?RTP300快速退火爐?快速熱處理爐
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1. 用途
快速熱處理技術(shù)（RTP）是近年來(lái)發(fā)展很快的半導(dǎo)體工藝新
技術(shù)。該設(shè)備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、使用方
便等特點(diǎn)。可用于硅及化合物半導(dǎo)體材料離子注入后的退火，
硅化物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。
2 2. .? 主 要 技 術(shù) 參 數(shù) 數(shù) 據(jù)
2.1 ?溫度 范圍 ： 150℃ ～ 1300℃ 。 建議 使用 溫度 范圍
150℃～1250℃。
2.2 升溫速率：100～200℃/s
2.3 密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14
2.4 微機(jī)控制器：時(shí)間設(shè)定范圍：0.1～999 秒，精度 0.1
秒，程序段 8 個(gè),獨(dú)立可調(diào)。
2.5 數(shù)字式溫度計(jì)：顯示位數(shù)：3 位半，分辨率 1℃，精度
0.5 FS±1℃，測(cè)量范圍：0～1300℃。
2.6 溫度穩(wěn)定性：±3℃
2.7 光源：1.25KW×13 鹵鎢燈
2.8 電源：輸入 3N、380V、30A
3 3. . 工 作 原 理 及 結(jié) 構(gòu)
3.1 原理簡(jiǎn)述：
在聚光腔內(nèi)的鹵鎢燈產(chǎn)生的光輻照，通過(guò)石英盒照射到樣
品上。由于樣品是聚光腔內(nèi)的光吸收體，腔內(nèi)的光線大部
分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測(cè)溫?zé)犭娕紲y(cè)出溫度
信號(hào)，經(jīng)線性化和放大后 ，送入比較電路與微機(jī)控制器輸出的
信號(hào)比較。比較電路輸出的信號(hào)控制可控硅的導(dǎo)通角，從而改
變燈電流的大小，實(shí)現(xiàn)溫度的閉環(huán)控制。
3.2 快速退火爐結(jié)構(gòu)
上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度
穩(wěn)定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結(jié)構(gòu)，盒后部有
一個(gè)氣嘴，可通往保護(hù)氣體。盒前部與墊板之間用 704 硅膠封
結(jié)。以良好的密封性能。墊板側(cè)面有一個(gè)氣嘴，與排氣管
相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個(gè)帶彈
簧的頂釘壓緊。石英盒內(nèi)部的后部放有一石英擋條，使保護(hù)氣
體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測(cè)溫?zé)犭娕肌犭娕冀?jīng)
過(guò)氧化處理，其表面吸收系數(shù)與硅片相近。前蓋裝有“O”型密
封圈，其密封。前蓋裝在導(dǎo)柱上可以前后滑動(dòng)。裝片時(shí)拉
出來(lái)，退火時(shí)推進(jìn)去。石英盒上面裝有 6 支鹵鎢燈。下面裝有 7
支鹵鎢燈。每支燈上串有 1 歐姆電阻。其作用是減小啟動(dòng)時(shí)的
沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側(cè)裝有風(fēng)扇，給鹵鎢燈及石英
盒強(qiáng)制風(fēng)冷。退火爐面板左側(cè)裝有 N 2 流量計(jì)，可調(diào)節(jié)和監(jiān)視保
護(hù)氣體的流量。面板右側(cè)有兩排發(fā)光二極管。用來(lái)監(jiān)視每支鹵
鎢燈的電流。
3.3 電源
該設(shè)備電源由雙向可控硅調(diào)壓電路，線性化電路，溫度顯
示電路，微機(jī)可編程控制器，比較電路等幾部分組成。
由熱電偶輸出的信號(hào)，通過(guò)面板上的插座輸入線性電路，
轉(zhuǎn)換成與溫度成線性關(guān)系的電壓信號(hào)，一部分送入溫度顯示電
路，直接顯示出溫度值，另一部分經(jīng)放大送入比較電路，與微
機(jī)控制器輸出的信號(hào)比較。比較電路輸出的信號(hào)控制可控硅的
導(dǎo)通角，實(shí)現(xiàn)閉環(huán)溫度控制。可控硅調(diào)壓電路共分為 6 路，第
一路控制三支鹵鎢燈，其余的控制兩支鹵鎢燈，每一組的燈電
流都是獨(dú)立可調(diào)的?？捎脕?lái)調(diào)整樣品縱向的溫度均勻性。
三相電源的空氣開(kāi)關(guān)安裝后面板上，保險(xiǎn)管在電源箱內(nèi)的
安裝板上。從面板上 A B C 三相指示燈上可看出保險(xiǎn)是否斷開(kāi)，
是否缺相。
退火爐后面板上裝有水壓開(kāi)關(guān)，如果冷卻水沒(méi)接通，水壓
開(kāi)關(guān)斷開(kāi)，電源面板上綠色冷卻水指示燈不亮，可控硅不會(huì)導(dǎo)
通。
微機(jī)控制器有八位單片機(jī)及接口電路組成?？刂破饔邪藗€(gè)
程序段，每段的時(shí)間由鍵盤(pán)設(shè)定。溫度由每段對(duì)應(yīng)的多圈電位
器設(shè)定。鍵盤(pán)上共 16 個(gè)鍵，其中 10 個(gè)（0～9）為數(shù)字建，5
個(gè)為功能建，一個(gè)空白建，下面分別介紹 5 個(gè)功能鍵的作用。
1)復(fù)位鍵：它的作用是轉(zhuǎn)換工作狀態(tài)，即輸入（IN）狀態(tài)
轉(zhuǎn)換為運(yùn)行狀態(tài)（即 b 狀態(tài)），或從運(yùn)行狀態(tài)轉(zhuǎn)為輸入狀態(tài)。
它的另一個(gè)作用是手動(dòng)中斷正在進(jìn)行的程序。
2) IN 鍵：它的功能是設(shè)定和檢查段號(hào)和每段時(shí)間。每按動(dòng)
一次,在顯示板上則按照：程序段號(hào)→本段設(shè)定時(shí)間→下一段號(hào)
→下一段設(shè)定時(shí)間的順序走。（從低段到高段走）
3) Last 鍵：功能與 IN 相似。只是每按一次按高段到低段的
順序走。
4)“清零”鍵：在“IN”狀態(tài)按 2 秒鐘后，以前設(shè)定所有數(shù)
據(jù)全部清零。
5)“啟動(dòng)”鍵：顯示板上顯示 b 或 End 時(shí)，按動(dòng)此鍵控制器
即可開(kāi)始運(yùn)行。
電源面板左側(cè)的鑰匙開(kāi)關(guān)是控制系統(tǒng)及風(fēng)扇的電源開(kāi)關(guān)。
紅色的按鈕風(fēng)扇開(kāi)關(guān)是退火爐兩側(cè)的風(fēng)扇開(kāi)關(guān)，一般情況應(yīng)按
下。工作方式選擇開(kāi)關(guān)有兩檔：準(zhǔn)備（STAND BY），運(yùn)行（RUN）.
當(dāng)“準(zhǔn)備”開(kāi)關(guān)按下時(shí)，微機(jī)控制電路與可控硅調(diào)壓電路斷開(kāi)，
可控硅不會(huì)導(dǎo)通。當(dāng)微機(jī)控制器輸入數(shù)據(jù)或電源停止工作時(shí)，
開(kāi)關(guān)應(yīng)放在此狀態(tài)。電源運(yùn)行時(shí)，工作方式選擇開(kāi)關(guān)應(yīng)放在“運(yùn)
行”檔，再按一下微機(jī)控制器上的“啟動(dòng)”按鈕即可開(kāi)始工作。
面板上的輸入插座是熱電偶信號(hào)的輸入端。輸出插座是熱
電偶信號(hào)經(jīng)過(guò)線性化和放大后的輸出?？晒┙o記錄儀或其它儀
器。
面板上的上限（UPPER LIMIT）調(diào)節(jié)多圈電位器有二個(gè)作用：
一是限制溫度上限，是溫度不超過(guò)預(yù)定值。二是提高溫度
的穩(wěn)定性和重復(fù)性。
主要技術(shù)數(shù)據(jù)
2.1?溫度范圍：150℃～1300℃。建議使用溫度范圍150℃～1250℃。
2.2?升溫速率：100～200℃/s
2.3?密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14
2.4?微機(jī)控制器：時(shí)間設(shè)定范圍：0.1～999秒，精度0.1秒，程序段8個(gè),獨(dú)立可調(diào)。
2.5?數(shù)字式溫度計(jì)：顯示位數(shù)：3位半，分辨率1℃，精度0.5 FS±1℃，測(cè)量范圍：0～1300℃。
2.6?溫度穩(wěn)定性：±3℃
2.7?光源：1.25KW×13鹵鎢燈
2.8?電源：輸入3N、380V、30A
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