.jpg "高精度紫外曝光光刻機(jī)半導(dǎo)體光刻曝光設(shè)備")
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 米歇爾MICHELL | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| B泵壓盤(pán)直徑 | 1mm | ||
| 包裝規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn) | ||
| 保修期 | 3年 | ||
| 可售賣(mài)地 | 全國(guó) | ||
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紫外曝光機(jī)
型號(hào)：URE-2000/17
簡(jiǎn)單介紹：曝光機(jī)：(英文名：Mask ALIGENER)又名曝光光刻機(jī), 該型號(hào)光刻機(jī)創(chuàng)新采用采用雙目雙視場(chǎng)顯微鏡對(duì)準(zhǔn)；球碗調(diào)平,單片機(jī)控制,觸摸開(kāi)關(guān),操作方便、實(shí)用性強(qiáng)。整機(jī)具有性能可靠、操作方便等特點(diǎn)。
一．技術(shù)特征
1、采用國(guó)內(nèi)獨(dú)創(chuàng)的多點(diǎn)梯形反射鏡聚光和實(shí)現(xiàn)均勻照明，具有高的能量收集率和高均勻性照明性；
2、采用進(jìn)口直流高壓汞燈，光功率穩(wěn)定；
3、采用i線（365nm)紫外曝光光源，波長(zhǎng)單一，光譜純凈；
4、高倍率雙目雙視場(chǎng)CCD顯微鏡和19英寸寬屏液晶，可同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，適用大視場(chǎng)高倍率對(duì)準(zhǔn)；
5、采用薄膜開(kāi)關(guān)操作，數(shù)字設(shè)定曝光時(shí)間，倒計(jì)時(shí)數(shù)顯，曝光量可精確控制；
6、配置無(wú)油真空泵，無(wú)污染，噪音小；
7、關(guān)鍵器件采用高質(zhì)量性能產(chǎn)品，整機(jī)技術(shù)保障、可靠性高。
