.jpg "光刻技術(shù)設(shè)備光刻曝光光刻機(jī)紫外光刻")
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 米歇爾MICHELL | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 規(guī)格 | 1mm | ||
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
| 型號(hào) | URE-2000/25 | ||
紫外高精密光刻機(jī)
1、曝光面積：110mm×110mm
2、分辨力：0.8μm（膠厚2mm的正膠）
3、對(duì)準(zhǔn)精度 ±0.5μm
4、掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm; Y:6mm
5、掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm (可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)
7、厚度0.1mm-6mm (可擴(kuò)展為15mm)
8、照明均勻性：±2.5（Ф100mm范圍）
9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率：350W（直流）
11、曝光波長(zhǎng)：365nm
12、曝光能量密度：35mW/cm 可以根據(jù)需要增加或減弱調(diào)節(jié)
13、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—999s）
