| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 瑞億斯 | ||
| 產(chǎn)品特性 | 快速退火 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 產(chǎn)地 | 北京 | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 最大電壓 | 380V | ||
| 功率 | 2000W | ||
| 額定溫度 | 1200℃ | ||
| 主要用途 | 半導體芯片退火 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | RTP-300 | ||
北京瑞億斯RTP-300快速熱處理設備 快速退火爐 怎么操作說明使用哪里購買
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RTP-300快速熱處理設備?RTP300快速退火爐?快速熱處理爐
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1. 用途
快速熱處理技術(shù)（RTP）是近年來發(fā)展很快的半導體工藝新
技術(shù)。該設備具有升溫速度快、密封好、溫度范圍寬、使用方
便等特點?？捎糜诠杓盎衔锇雽w材料離子注入后的退火，
硅化物的形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。
2 2. .? 主 要 技 術(shù) 參 數(shù) 數(shù) 據(jù)
2.1 ?溫度 范圍 ： 150℃ ～ 1300℃ 。 建議 使用 溫度 范圍
150℃～1250℃。
2.2 升溫速率：100～200℃/s
2.3 密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14
2.4 微機控制器：時間設定范圍：0.1～999 秒，精度 0.1
秒，程序段 8 個,獨立可調(diào)。
2.5 數(shù)字式溫度計：顯示位數(shù)：3 位半，分辨率 1℃，精度
0.5 FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。
2.6 溫度穩(wěn)定性：±3℃
2.7 光源：1.25KW×13 鹵鎢燈
2.8 電源：輸入 3N、380V、30A
3 3. . 工 作 原 理 及 結(jié) 構(gòu)
3.1 原理簡述：
在聚光腔內(nèi)的鹵鎢燈產(chǎn)生的光輻照，通過石英盒照射到樣
品上。由于樣品是聚光腔內(nèi)的光吸收體，腔內(nèi)的光線大部
分被樣品所吸收，使樣品溫度快速升高。測溫熱電偶測出溫度
信號，經(jīng)線性化和放大后 ，送入比較電路與微機控制器輸出的
信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的導通角，從而改
變燈電流的大小，實現(xiàn)溫度的閉環(huán)控制。
3.2 快速退火爐結(jié)構(gòu)
上下前后四塊反光板均為水冷，以保持良好的溫度
穩(wěn)定性和較快的降溫速度。石英盒為密封結(jié)構(gòu)，盒后部有
一個氣嘴，可通往保護氣體。盒前部與墊板之間用 704 硅膠封
結(jié)。以良好的密封性能。墊板側(cè)面有一個氣嘴，與排氣管
相連。墊板用螺釘固定在前反光板上。石英盒后端有兩個帶彈
簧的頂釘壓緊。石英盒內(nèi)部的后部放有一石英擋條，使保護氣
體氣流均勻。前蓋上裝有石英樣品架和測溫熱電偶。熱電偶經(jīng)
過氧化處理，其表面吸收系數(shù)與硅片相近。前蓋裝有“O”型密
封圈，其密封。前蓋裝在導柱上可以前后滑動。裝片時拉
出來，退火時推進去。石英盒上面裝有 6 支鹵鎢燈。下面裝有 7
支鹵鎢燈。每支燈上串有 1 歐姆電阻。其作用是減小啟動時的
沖擊電流及電流取樣。退火爐兩側(cè)裝有風扇，給鹵鎢燈及石英
盒強制風冷。退火爐面板左側(cè)裝有 N 2 流量計，可調(diào)節(jié)和監(jiān)視保
護氣體的流量。面板右側(cè)有兩排發(fā)光二極管。用來監(jiān)視每支鹵
鎢燈的電流。
3.3 電源
該設備電源由雙向可控硅調(diào)壓電路，線性化電路，溫度顯
示電路，微機可編程控制器，比較電路等幾部分組成。
由熱電偶輸出的信號，通過面板上的插座輸入線性電路，
轉(zhuǎn)換成與溫度成線性關(guān)系的電壓信號，一部分送入溫度顯示電
路，直接顯示出溫度值，另一部分經(jīng)放大送入比較電路，與微
機控制器輸出的信號比較。比較電路輸出的信號控制可控硅的
導通角，實現(xiàn)閉環(huán)溫度控制?？煽毓枵{(diào)壓電路共分為 6 路，第
一路控制三支鹵鎢燈，其余的控制兩支鹵鎢燈，每一組的燈電
流都是獨立可調(diào)的?？捎脕碚{(diào)整樣品縱向的溫度均勻性。
三相電源的空氣開關(guān)安裝后面板上，保險管在電源箱內(nèi)的
安裝板上。從面板上 A B C 三相指示燈上可看出保險是否斷開，
是否缺相。
退火爐后面板上裝有水壓開關(guān)，如果冷卻水沒接通，水壓
開關(guān)斷開，電源面板上綠色冷卻水指示燈不亮，可控硅不會導
通。
微機控制器有八位單片機及接口電路組成?？刂破饔邪藗€
程序段，每段的時間由鍵盤設定。溫度由每段對應的多圈電位
器設定。鍵盤上共 16 個鍵，其中 10 個（0～9）為數(shù)字建，5
個為功能建，一個空白建，下面分別介紹 5 個功能鍵的作用。
1)復位鍵：它的作用是轉(zhuǎn)換工作狀態(tài)，即輸入（IN）狀態(tài)
轉(zhuǎn)換為運行狀態(tài)（即 b 狀態(tài)），或從運行狀態(tài)轉(zhuǎn)為輸入狀態(tài)。
它的另一個作用是手動中斷正在進行的程序。
2) IN 鍵：它的功能是設定和檢查段號和每段時間。每按動
一次,在顯示板上則按照：程序段號→本段設定時間→下一段號
→下一段設定時間的順序走。（從低段到高段走）
3) Last 鍵：功能與 IN 相似。只是每按一次按高段到低段的
順序走。
4)“清零”鍵：在“IN”狀態(tài)按 2 秒鐘后，以前設定所有數(shù)
據(jù)全部清零。
5)“啟動”鍵：顯示板上顯示 b 或 End 時，按動此鍵控制器
即可開始運行。
電源面板左側(cè)的鑰匙開關(guān)是控制系統(tǒng)及風扇的電源開關(guān)。
紅色的按鈕風扇開關(guān)是退火爐兩側(cè)的風扇開關(guān)，一般情況應按
下。工作方式選擇開關(guān)有兩檔：準備（STAND BY），運行（RUN）.
當“準備”開關(guān)按下時，微機控制電路與可控硅調(diào)壓電路斷開，
可控硅不會導通。當微機控制器輸入數(shù)據(jù)或電源停止工作時，
開關(guān)應放在此狀態(tài)。電源運行時，工作方式選擇開關(guān)應放在“運
行”檔，再按一下微機控制器上的“啟動”按鈕即可開始工作。
面板上的輸入插座是熱電偶信號的輸入端。輸出插座是熱
電偶信號經(jīng)過線性化和放大后的輸出。可供給記錄儀或其它儀
器。
面板上的上限（UPPER LIMIT）調(diào)節(jié)多圈電位器有二個作用：
一是限制溫度上限，是溫度不超過預定值。二是提高溫度
的穩(wěn)定性和重復性。
主要技術(shù)數(shù)據(jù)
2.1?溫度范圍：150℃～1300℃。建議使用溫度范圍150℃～1250℃。
2.2?升溫速率：100～200℃/s
2.3?密封石英盒內(nèi)面尺寸：210×140×14
2.4?微機控制器：時間設定范圍：0.1～999秒，精度0.1秒，程序段8個,獨立可調(diào)。
2.5?數(shù)字式溫度計：顯示位數(shù)：3位半，分辨率1℃，精度0.5 FS±1℃，測量范圍：0～1300℃。
2.6?溫度穩(wěn)定性：±3℃
2.7?光源：1.25KW×13鹵鎢燈
2.8?電源：輸入3N、380V、30A
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