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產(chǎn)品簡介
硅片晶圓曝光機URE-2000\/35
硅片晶圓曝光機URE-2000\/35
產(chǎn)品價格:¥25.00
上架日期:2023-12-17 23:45:39
產(chǎn)地:北京北京
發(fā)貨地:北京北京
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明
    產(chǎn)品參數(shù)
    硅片晶圓曝光機URE-2000/35 品牌鑫有研SIYOUYEN
    可售賣地全國





    紫外曝光機
    型號:URE-2000/35
    簡單介紹:曝光機:(英文名:Mask ALIGENER)又名光刻機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制;采用創(chuàng)新技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準(zhǔn)精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。

    一.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動型)和高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便)采用創(chuàng)新技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明;

    1、采用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調(diào)平精度均高;

    2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;

    3、自動分離對準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達(dá)500μm;

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