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產(chǎn)品簡介
長期供應(yīng)高溫空氣布勞恩真空過濾器
長期供應(yīng)高溫空氣布勞恩真空過濾器
產(chǎn)品價格:¥85
上架日期:2017-08-10 07:57:27
產(chǎn)地:廊坊
發(fā)貨地:廊坊
供應(yīng)數(shù)量:不限
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詳細(xì)說明
    MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deb)
    是生長高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜材料的
    技術(shù),在LED、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個領(lǐng)域都有應(yīng)用。現(xiàn)有MOCVD設(shè)備
    的成本非常高,且完全依賴進口,進行MOCVD設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源
    領(lǐng)域以及國防高端技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
     MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以
    及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設(shè)計,包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難
    點,并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。
     氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng),
    并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng),
    反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜,而且避免MO源的壁面沉積
    )對氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃?;诎踩紤],設(shè)備需
    要定期進行泄漏檢查。
    由于MOCVD系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆,雨其中的氫化物源又有劇毒,因此,必須對反應(yīng)過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒

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