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產(chǎn)品簡介
HMDS預(yù)處理真空烘箱
HMDS預(yù)處理真空烘箱
產(chǎn)品價格：￥
上架日期：2025-08-29 09:53:48
產(chǎn)地：江蘇昆山市
發(fā)貨地：本地至全國
供應(yīng)數(shù)量：不限
最少起訂：1臺
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詳細說明
    HMDS烘箱，晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預(yù)處理，增黏劑HMDS涂覆作業(yè)。本設(shè)備適用于在涂膠前對晶片進行預(yù)處理，集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設(shè)備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成。通過多次預(yù)抽真空，充氮加熱循環(huán)進行，既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果，又能夠防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴散，并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比，具有重復(fù)性好，節(jié)省藥液，環(huán)保，對人體無害的顯著優(yōu)點；也可用于晶片其它工藝的清洗。
    設(shè)備型號 HMDS-90
    溫度范圍 RT+25~200°C
    溫度分辨率 ±0.1°C
    極限真空度 ＜10pa
    抽氣速率 4L/S  常壓~100pa時間＜5min
    氧含量

    ＜10ppm

    潔凈度 class10
    控制方式 PLC+觸摸屏（人機交互界面）
    內(nèi)腔尺寸 W450mm*D450mm*H450mm
    氮氣流量 0-100L/min
    電源功耗 AC220V    50HZ     4.5KW
    箱體 3mm優(yōu)質(zhì)SUS316#潔凈不銹鋼內(nèi)膽
    外殼 SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
    保溫材料 環(huán)保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
    安全保護措施 1.接地保護     2.過載保護      3.超溫保護
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    蘇州伊諾華科工業(yè)設(shè)備有限公司
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